回收锌粉等离子体化学气相沉积是利用电或者电磁气体放电激发的等离子体来进行化学气相沉积的涂层方法。其主要作用是：活化并强化化合物沉积时的化学反应，改善涂层的结构和形貌。在等离子体化学气相沉积的过程中，等离子体可产生强化化学过-程的高能量的活化气体和离子，因此，可在温度较低的基体表面进行沉积涂层。射频或直流放电等离子体化学气相沉积装置示意图见图7-47。用射频等离子体化学气相TiN涂层时，沉积可在放电功率2000～2500W、压力(2'-3.5)X 10-2 Pa、温度500℃左右下进行。涂层为面心立方结构的TiN，横断面显示出致密的细晶或纤维状组织，涂层硬度为HV2500～3000（载荷200g），化学成分符合化学(n(N)/n(Ti) =1) o