利用真空中蒸发、溅射、回收锌粉等离子体离子化等物理方法使金属(Ti、Zr)由熔融体或者固体转入气相并与气态非金属组元发生化学反应，所生成的化合物沉积在    9—被加热到500℃左右的硬质合金基体上的过程称为物理气相沉积涂层。物理气    IC相沉积涂层尽管有多种方法，但基本原理都包括三个阶段：气源发射；蒸汽在真空中迁移；在待涂层基体上固结。典型的物理气相沉积系统原理如图7-48所示。
物理气相沉积涂层法可分为三大类，蒸镀法、溅射法和离子镀法。目前应用最广泛的是真空电弧蒸镀法、电子束蒸镀法和高速磁控溅射法。物理气相沉积与化学气相沉积相比具有如下优点：
(1)由于物理气相沉积温度一般为500℃左右，在此温度下涂层与基体不产生扩散层，因而使基体强度不变。
(2)涂层具有细微型结构，在涂层中产生压应力，涂层韧性较高，抗裂纹扩展能力强。
(3)涂层表面光滑，能有效阻止横向裂纹的扩展。因此，物理气相沉积涂层特别适用于切削刀片的涂屡。为了保证涂层与基体牢固黏结，基体表面的粗糙度是十分重要的，如果基体表面有缺陷存在，则会造成涂层脱落。因此，涂层前基体表面需经过超声波、离子侵蚀等方法进行处理。