回收锌粉真空电弧蒸镀法是使金属、合金或化合物在真空中电弧蒸发、离子化、溅射并沉积在基体上的一种涂层方法，其特点是，蒸发源保持固态，大部分金属蒸气被离子化（离子化率高达60j《），从而可有效地保证涂层与基体的牢固结合，而且还可在低温（200℃左右）下获得满意的涂层。在真空电弧蒸镀涂层的过程中，当真空度为1. 3X 10-3Pa时，通过单弧源或多弧源产生的金属离子轰击基体而被加热，同时溅射的离子通过溅射、扩散也使基体的表面状态得到改善。‘当反应气体达到一定的条件时，启动电源便可在偏压为-75～-400V的基体上发生金属、合金或化合物的沉积。真空电弧蒸镀设备如图7-49所示。由于沉积温度可以通过改变电弧的电流密度来进行控制，因此沉积可在较宽的温度范围内进行，例如真空电弧蒸镀沉积TiCN涂层的温度为400～600℃，而直流电弧等离子体的沉积温度为500℃。用此方法沉积的TiCN涂层硬质合金，由于涂层内的残余压应力较高，涂层厚度为lOJ真m时其抗弯强度仍然与基体相当，显示出比化学气相沉积、普通离子镀涂层和未涂层硬质合金）9片更优异的切削性能。